1
¿En qué año se inventó el primer sensor de presión piezoeléctrico?
1956
¿En qué año se inventó el primer transistor de efecto de campo de un solo electrón?
1999
¿En que año se invento el primer dispositivo de conmutación?
2003
¿En qué año se inventó el primer dispositivo de memoria no volátil MEMS?
2011
¿Qué sucedió en 1980?
Se desarrollan sensores de presión MEMS para su uso en la industria aeroespacial. Se desarrollan sistemas de micromecanizado para fabricar MEMS
Primera observación experimental de un efectomecánico cuántico en un dispositivo.
¿Qué sucedió en 2001?
Invención del primer dispositivo de oscilador MEMS por la compañía Discera.
¿Qué sucedió en 2007?
Invención del primer sistema de energía MEMS por la compañía Perpetuum.
¿Quién creo el primer micrófono de condensador y en qué año?
Gerhard Sessler y James West, 1964
¿Quién creo el primer motor MEMS y en qué año?
Carlos H. Mastrangelo y Kristofer S.J. Pister, 1991
¿Quién creo el primer acelerómetro capacitivo y en qué año?
Kurt Petersen, 1974
¿Quién creo el primer resonador de cuarzo MEMS y en que año?
Harvey C. Nathanson, 1983