Materiales
Fotolitografía
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Deposición- Elctrodeposición
Micromodelado-Micromaquinado
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Mencione dos tipos de materiales usados para fabricar Mems y Biomems

Silicio, Metales, Polimeros, Nanomateriales

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¿qué es la litografía?

Es un proceso de microfabricación que transfiere patrones sobre un sustrato usando luz, máscaras y materiales fotosensibles.

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¿Qué director hizo las películas de el caballero de la noche y Oppenheimer? 

Christopher Nolan

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Meniona dos materiales se pueden emplear en la depósito 

Silicio, metales (Au, Pt, Ti, Al) y óxidos (SiO₂, TiO₂)

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¿Técnica que Consiste en dar forma a microestructuras utilizando moldes con cavidades a escala micrométrica?

Micromoldeado

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¿Qué tipo de material es el grafeno?¿Cómo se aplica?

Nanomaterial, sensor o actuador

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Mencione 2 pasos de flujo de proceso de fabricación de litografía.

Recubrimiento, Exposición, revelado, limpieza, grabado

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¿Quién inventó el motor de corriente alterna y la bobina que lleva su nombre?

Nikola Tesla

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¿Qué máquinas se emplean para la fabricación por deposición?

PVD (Physical Vapor Deposition: sputtering, evaporación) 

CVD (deposición química de vapor)

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¿Con qué máquinas se fabrican los micromaquinados?

Húmedo /Seco

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¿Qué material es muy flexible, biocompatible pero no tiene estabilidad térmica?

Polímeros

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¿Qué se usa el grabado en seco?

Grabado húmedo, tiene menor control de la anisotropía (control isotrópico)

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¿Quién escribio la divina comedia?

Dante Alighieri

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¿Con qué materiales no funciona para la electrodeposición? Au , PDMS, piezoelectricos, Silicio

PDMS

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¿Qupe se puede fabricar con el micromodelado?

Fabricar canales microfluídicos y piezas plásticas complejas.

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Tienen alta conductividad eléctrica y se corroen fácilmente. Menciona dos ejemplos 

Metales (Au, Pt, Ti, Cr)

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Lugares (Instituciones) dnde podemos hacer grabados en seco o húmedo

CINVESTAV, UNAM, INAOE y CICESE.

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¿Qué científico desarrolló la teoría de la evolución natural publicada en El origen de las especies?

Charles Darwin

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¿ En dónde podemos encontrar mems hechos por deposición de peliculas delgadas ?

Recubrimientos funcionales, eléctricos o protectores.

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¿Qué significa RIE?

Reactive Ion Etching

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¿Qué materiales son más óptimos para la implantación de iones?

Silicio y materiales semiconductores

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¿ En qué método introduce átomos energizados en un sustrato para modificar sus propiedades eléctricas, mecánicas o químicas? 

Implantación de iones

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¿Quién escribió la odisea?

Homero

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¿Que es más costoso los equipos CVD o los de PVD ?

El CVD con un costo $2–5 millones de dolares

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¿Por que no se emplean polimeros en el Micromaquinado ?

Porque pueden deformarse o dañarse en ácidos o plasma